@クリーンルーム内
Aクリーンルーム内
Bクリーンルーム内
Cクリーンルーム内
Dクリーンルーム内
Eクリーンルーム内
F前室内
G周囲清浄度
H周囲清浄度
I周囲清浄度
J周囲清浄度
|
2,200
1,030
2,900
830
3,790
3,270
3,380
3,335,930
3,525,610
3,408,850
3,497,260
|
1,110
610
500
270
2,930
3,320
4,910
|
1,350
930
550
460
2,100
3,310
5,250
|
1,553
857
1,317
520
2,940
3,300
4,513
|
○
○
○
○
○
○
○
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